材质:氮化铝
*高工作温度:500°C
特点:机械性能稳定;防水、油,耐酸腐蚀,可直接接触受热物;热效率好,升温快速;绝缘性好,安全环保;形状尺寸可定制
典型应用:半导体制造装置用构件、静电卡盘等
氮化铝陶瓷加热器
*高工作温度:600°C
*大功率密度:50 w/cm2
电压:5-380V
功率:100-3000(W)
厚度:1.5-3mm
材质:氮化铝*高工作温度:500°C
特点:机械性能稳定;防水、油,耐酸腐蚀,可直接接触受热物;热效率好,升温快速;绝缘性好,安全环保;形状尺寸可定制
典型应用:半导体制造装置用构件、静电卡盘等