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半导体干法

半导体干法：PVD, CVD, PECVD, ALD

1、排气加热解决方案

2、PVD/CVD 气体输送加热解决方案



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热沉系统

它可以从邻近热源获取热能并进行扩散，从而降低邻近元件的温度，确保元件的使用寿命。一般用于各类芯片封装领域（如激光芯片）

半导体干法

半导体干法：PVD, CVD, PECVD, ALD（干法的应用设备）

管路加热

在改进燃气管道加热器的设计和制造工艺方面付出了巨大努力，并在燃气管道加热器方面取得了巨大进步

半导体湿法

石英在线加热器是一种使用石英材料作为加热元件的加热装置。石英在线加热器通常用于高温加热和恒温控制应用，具有出色的耐高温性和化学稳定性。

半导体湿法

去离子水（DIW）加热系统，所有与液体接触的表面均采用超纯PVDF/PFA材料 通过PLC温度*控制技术、

陶瓷加热

高温烧结，可根据客户需求定制尺寸、功率和样式 材料

控制系统

CMS(中心监控系统)是一种软件，它使客户能够监控整个实验室内的加热器。此外，历史温度数据可以根据客户的喜好保存在本地文件或mySQL dBase中。